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ST系列直流脉冲电源

直流脉冲电源主要应用于直流溅射镀膜领域，能够承受住严苛的 PVD（物理气相沉积）工艺考验，以其优良的控制算法，能够提供稳定可靠的持续输出，并对功率、电压、电流、频率和脉冲时间等提供精确的输出控制。电源脉冲中携带的电弧能量极低，并通过多重主动电弧管理，具有极强的电弧抑制能力，能够有效的保证制程工艺的可靠性。同时电源还具备宽范围的频率和反向电压调节功能，能够轻松的适配各种工艺的要求，使得该电源可以应用于更多的材料，拓展了制程的应用范围。

DC系列直流镀膜电源

DC30系列直流镀膜电源采用一线品牌控制芯片和半导体器件，配合精确控制算法，使设备安全可靠、准确运行。配合LCD显示屏、LED指示灯和按键，使得人机更好的交互。支持多种专用的工业总线通讯接口（EtherCAT、RS485/Profibus、DeviceNet、Profinet等可选），具有稳定性、可调性、高效性、低纹波和适应性等优点。

DL系列空心阴极电源

DL系列空心阴极电源主要应用于反应式等离子体镀膜设备HJT Reactive Plasma Deposition (RPD)，使用低能量高密度电子束升华靶材产生高解离率的离子镀着在衬底的表面高解离率离子、低轰击能量镀膜，不损伤衬底表面，保持良好的接口特性，薄膜的载子迁移率超高，是经过经长期量产验证的精密镀膜电源产品。

RF射频电源

RF射频电源能够提供稳定且可靠的持续的功率输出。得益于先进的DC和功放设计技术，极大的提高了电源的运行效率，能够有效降低能源成本。能够提供连续模式或脉冲模式的功率输出，从而实现多样化的场景应用。

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苏州四通恒升电源科技有限公司

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