RF射频电源
RF射频电源能够提供稳定且可靠的持续的功率输出。得益于先进的DC和功放设计技术，极大的提高了电源的运行效率，能够有效降低能源成本。能够提供连续模式或脉冲模式的功率输出，从而实现多样化的场景应用。
分类：
射频电源
- 产品描述
产品概述
RF射频电源能够提供稳定且可靠的持续的功率输出。得益于先进的DC和功放设计技术，极大的提高了电源的运行效率，能够有效降低能源成本。能够提供连续模式或脉冲模式的功率输出，从而实现多样化的场景应用。
产品主要特点
● 全数字控制
● 精密闭环控制，频率误差小
● 全面的电弧保护机制
● 相位CEX同步
● 支持连续工作模式、脉冲工作模式
● 丰富的通信接口
● 完善的检测和保护机制
应用领域
广泛应用于半导体工艺设备、等离子体刻蚀、等离子体清洗、等离子体发生、PECVD/CVD/PVD、薄膜沉积、射频溅射、科研等方面。
产品的规格参数
苏州四通恒升电源科技有限公司
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