ST系列直流脉冲电源
直流脉冲电源主要应用于直流溅射镀膜领域，能够承受住严苛的 PVD（物理气相沉积）工艺考验，以其优良的控制算法，能够提供稳定可靠的持续输出，并对功率、电压、电流、频率和脉冲时间等提供精确的输出控制。电源脉冲中携带的电弧能量极低，并通过多重主动电弧管理，具有极强的电弧抑制能力，能够有效的保证制程工艺的可靠性。同时电源还具备宽范围的频率和反向电压调节功能，能够轻松的适配各种工艺的要求，使得该电源可以应用于更多的材料，拓展了制程的应用范围。
分类：
直流脉冲电源
- 产品描述
产品概述
ST系列直流脉冲电源主要应用于直流溅射镀膜领域，能够承受住严苛的 PVD（物理气相沉积）工艺考验，以其优良的控制算法，能够提供稳定可靠的持续输出，并对功率、电压、电流、频率和脉冲时间等提供精确的输出控制。电源脉冲中携带的电弧能量极低，并通过多重主动电弧管理，具有极强的电弧抑制能力，能够有效的保证制程工艺的可靠性。同时电源还具备宽范围的频率和反向电压调节功能，能够轻松的适配各种工艺的要求，使得该电源可以应用于更多的材料，拓展了制程的应用范围。
ST 系列直流脉冲电源的相关技术指标达到了国际同类电源同等水平，同时更加人性化，可以根据客户需求提供更加专业化的定制服务。
产品主要特点
● 高稳态功率输出
● 电弧主动抑制技术
● 极快的电弧响应
● 极低的电弧携带能量
● 更宽范围的参数调节功能
● 丰富的通讯接口
主要应用领域
● 玻璃镀膜
● 太阳能光伏制造
● 液晶面板
● 半导体制造
产品的规格参数
苏州四通恒升电源科技有限公司
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